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分子レベルの特殊処理で吸着跡を残さない!
特殊処理で表面改質を行うことにより、吸着パッドへの異物付着と真空パッド成分のワークへの付着を大幅に軽減します。
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注意:ワークおよび吸着の使用条件、環境により、効果の程度は変わり効果が得られない場合もありますので、ご注意ください
ガラス基板など、吸着跡を嫌うワークの吸着搬送に最適
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様々な形状のパッドに対応
パッド材質がフッ素ゴムおよび導電性フッ素
記号 | 材質 | 硬度(A/s) | 使用温度範囲(℃) | 色 | 体積抵抗率※注1.注2 |
F-RA | ふっ素跡防止ゴム | 70 | -10~230 | 黒に白点 | – |
FE-RA | 導電性ふっ素跡防止ゴム | 70 | 0~200 | 黒 | 104~107 Ω・cm |
注1)体積抵抗率は導電性を表すもので、cm3当たりの抵抗値を表す。
注2)当社指定テストピースの測定値です。